GB/T 13840-1992
晶片承载器
wafer carrier
GBT13840-1992, GB13840-1992
- 标准号
- GB/T 13840-1992
- 别名
- GBT13840-1992
GB13840-1992 - 发布
- 1992年
- 采用标准
- SEMI E1 REF
- SEMI E2 REF
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 13840-1992
- 本标准规定了晶片承载器的产品分类、技术要求和试验方法、检验规则、包装标志。 本标准适用于晶片直径为75、1凹、125、150mm通用型塑料和金属晶片承载器，以及晶片直径为125mm自动输送型塑料和金属晶片承载器。