GB/T 13840-1992
晶片承载器

wafer carrier

GBT13840-1992, GB13840-1992


说明：

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标准号
GB/T 13840-1992
别名
GBT13840-1992
GB13840-1992
发布
1992年
采用标准
SEMI E1 REF
SEMI E2 REF
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 13840-1992
 
 
本标准规定了晶片承载器的产品分类、技术要求和试验方法、检验规则、包装标志。 本标准适用于晶片直径为75、1凹、125、150mm通用型塑料和金属晶片承载器，以及晶片直径为125mm自动输送型塑料和金属晶片承载器。

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