GB/T 14603-1993
电子工业用气体 三氟化硼已作废

Gases for electronic industry. Boron trifluoride

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标准号

GB/T 14603-1993

发布日期

1993年08月26日

实施日期

1994年07月01日

废止日期

2010-05-01

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20

发布单位

CN-GB

代替标准

GB/T 14603-2009

适用范围

本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。 分子式：BF3 相对分子质量：67.805（按1989年国际相对原子质量）

GB/T 14603-1993系列标准