本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以氟硼酸钠为原料,采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。 分子式:BF3 相对分子质量:67.805(按1989年国际相对原子质量)
GB/T 14603-1993由国家质检总局 CN-GB 发布于 1993-08-26,并于 1994-07-01 实施,于 2010-05-01 废止。
GB/T 14603-1993 在中国标准分类中归属于: G86 工业气体与化学气体,在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
GB/T 14603-1993 电子工业用气体 三氟化硼 于 2009-10-30 变更为 GB/T 14603-2009 电子工业用气体.三氟化硼。
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