PNS ISO 14644-15:2021
洁净室和相关受控环境.第15部分：通过气载化学浓度评估设备和材料的适用性

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration


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标准号
PNS ISO 14644-15:2021
发布
2021年
发布单位
PH-BPS
当前最新
PNS ISO 14644-15:2021
 
 
本标准提供了评估预计用于洁净室和相关受控环境的设备和材料的化学空气清洁度的要求和指南，这些设备和材料与化学清洁度等级的 ISO 标准相关联。

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