PNS ISO 14644-15-2021
洁净室和相关受控环境.第15部分：通过气载化学浓度评估设备和材料的适用性

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration

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标准号

PNS ISO 14644-15-2021

发布日期

2021年

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

C65/74

国际标准分类号

13.040.35

发布单位

PH-BPS

适用范围

This Standard provides requirements and guidelines for assessing the chemical airborne cleanliness of equipment and materials which are foreseen to be used in cleanrooms and associated controlled environments which are linked to the ISO standard for cleanliness classes by chemica

PNS ISO 14644-15-2021系列标准