DIN EN ISO 14644-14:2017
洁净室和相关控制环境.第14部分:利用气载颗粒浓度评定设备的适合性(ISO 14644-14-2016);德文版本EN ISO 14644-14-2016
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016); German version EN ISO 14644-14:2016
- 标准号
- DIN EN ISO 14644-14:2017
- 发布
- 2017年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 当前最新
- DIN EN ISO 14644-14:2017
- 引用标准
- AIR 1167 DIN EN ISO 14644-1:2016 ISO 14644-1:2015 ISO 14644-3:2005 ISO 14644-7:2004 ISO 14644-9:2012 ISO 8573-8:2004 JIS B 9926:1991 SEMI E49-1104 SEMI F28-1103 SEMI F70-0611 SEMI G67-0996 VDI 2083 Blatt 9.1 (2006-12)
- 被代替标准
- DIN EN ISO 14644-14:2014
DIN EN ISO 14644-14:2017相似标准
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DIN EN ISO 14644-14:2017-01 洁净室和相关受控环境 - 第 14 部分：通过空气颗粒浓度评估设备使用的适用性（ISO 14644-14:2016）
NS-EN ISO 14644-14:2016 洁净室和相关受控环境 第14部分：通过空气颗粒浓度评估设备使用的适用性（ISO 14644-14:2016）
EN ISO 14644-14:2016 洁净室和相关受控环境第14部分:由尘埃粒子浓度使用设备的适宜性评价(ISO 14644-14:2016)
DIN EN ISO 14644-14 E:2014 洁净室和相关受控环境 第14部分：通过空气颗粒浓度评估设备使用的适用性（ISO/DIS 14644-14:2014） 草案
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