EVG 540 自动化晶圆键合系统

全自动晶圆键合系统，适用于最大300mm的基板

EVG 540 自动化晶圆键合系统是一种自动化的单腔室生产键合机，设计用于中试线生产以及用于晶圆级封装，3D互连和MEMS应用的大批量生产的研发。EVG 540基于模块化设计，为我们未来的晶圆键合工艺从研发到大规模生产的全集成生产键合系统过渡提供了可靠的解决方案。

特征单室粘合机，最大基板尺寸为300mm，与SmartView 和MBA300兼容，自动处理多达四个粘合卡盘，符合高安全标准。

技术数据最大加热器尺寸：300毫米；装载室：2；轴机器人咨询******微信同号）