应用：

-光阻(PR) 或薄膜涂敷
-3D结构Pattern的薄膜涂敷
-(V型槽, U型槽, 空穴, 通路, 其他3D结构, etc.)
-电镀制模
-牺牲层涂敷
-电pattern连接

样品尺寸: Up to 12"
喷涂方式 : 下部流出
喷雾头 : 喷雾器, 过滤器, 超声波喷嘴(100kHz)
喷嘴移动 : Max. 350mm(X-轴) / 20mm(Z-轴)
样品喷涂速度: Max. 2,000rpm 
涡流气体 : 热N2 (Max. 85度 加热) 
卡紧方式 : 真空型
光阻流速 : ~ 100 毫升/秒
注射器容量 : 100mL 
过程控制 : 自动 (PC)

自动化装置，控制精准，操作方便，是薄膜，材料，半导体等行业的首选 。