应用：

纳米尺寸微粒超薄薄膜沉积(TiO2, SiC, TiN, Pt, Ag, Al, Cu, etc.)

-微粒种类 : 玻璃珠, Al2O3, Si, SiO2 
-微粒尺寸 : Nano ~ micron 尺寸                                                                                                                           --加热 : Max. 800∩ 
-极限压力 : 5 *10-3Torr 
-真空泵 : 旋转泵 (option : Booster pump + Rotary pump) 
-过程控制 : 自动