快速导航
首页
资讯类
资讯
专题
会议
锐客
标准
方法
行业类
快检
食品
环境
材料
化工
生物
制药
临床
产品类
仪器
服务
耗材
Lab
新品
导购
电商
互动类
直播
x
价格:
面议
磁控溅射系统
产品属性
品牌
产地
型号
NSC4000 NSC3000
关注度
44
信息完整度
关闭
产地:; 品牌:
产品描述
仪器简介:
公司有多年半导体设备工艺和制造的经验,为客户提供稳定、高性价比的薄膜制备设备。
技术参数:
控制 PC(Lab View)
工艺腔直径 12x12钟罩、14x14x14金属腔
zei大平台尺寸 8 、10
磁控管数量 3
zei大磁控管直径 3
磁控板距离 8 、10
真空(Torr) E-6~E-7
平板冷却 25℃
zei大加热温度 300℃、500℃、700℃
直流电压 1000V,1A
射频电源 300-600W 13.5MHZ
直流偏压 500V <100khz
射频偏压 300W 13.5MHZ
等离子清洗 300W 13.5MHZ
厚度控制 程序控制
主要特点:
另外还可以提供磁控溅射和热蒸发双系统。
仕嘉科技(北京)有限公司
其他会员
进入商铺
全部产品
推荐产品
FBAR用AlN薄膜测试系统
多功能薄膜沉积系统
PECVD
电子束蒸发系统
反应离子刻蚀
纳米压印系统(Nano-Imprint)
上一篇:
FBAR用AlN薄膜测试系统
下一篇:
第二代超导带材制备全系列专用设备
店铺
收藏
咨询留言
一键拨号