快速导航
首页
资讯类
资讯
专题
会议
锐客
标准
方法
行业类
快检
食品
环境
材料
化工
生物
制药
临床
产品类
仪器
服务
耗材
Lab
新品
导购
电商
互动类
直播
x
价格:
面议
FBAR用AlN薄膜测试系统
产品属性
品牌
产地
型号
aixDBLI
关注度
173
信息完整度
关闭
产地:; 品牌:
产品描述
FBAR用AlN薄膜研究利器---
德国aixACCT公司aixDBLI晶圆双光束激光干涉仪测量系统
国际上FBAR用AlN薄膜的研究如火如荼,各国科学家都在下大力气进行将AlN作为压电层的薄膜体声波谐振器的研究。然而大家对材料往往结构表征丰富,而电学、机电性能表征不足。为此,德国aixACCT公司基于数十年对铁电压电热释电综合测试系统的研究基础上,开发出了aixDBLI晶圆双光束激光干涉仪测量系统
。
aixDBLI晶圆双光束激光干涉仪是针对于1-8英寸晶圆上的MEMS器件的铁电压电性能测试,用的是双光束激光干涉仪的方法非接触式测试。
分辨率:≤1pm(X晶向的石英)
测量范围:5pm to +/-25nm
aixDBLI的主要构成和功能有:
******************************************
测试功能:
机电大信号应变、极化、压电系数、
小信号介电常数。
疲劳和电性及机械性能可靠性
样品测试:
极化曲线和位移曲线。
小信号电容及压电系数。
******************************************
减震光学平台
降噪减震和热隔离腔体
光学部分(所有必需的透镜、波片、光束分束器、镜子等和光学支架)
强度稳定激光
压电镜及其放大器和控制器
光探测和前端放大器
机动双轴平台
手动倾斜单元
定位用摄像机一个
样品定位用探头两个
电源管理单元
压电软件
锁相选件
基于若干具体参数测试的自动脚本控制
激光安全镜
其他测试软件功能包括回线、应变测试、C-V和d33测试、疲劳测试、自编波形等
******************************************
1英寸晶圆手动双光束激光干涉仪
6英寸晶圆手动双光束激光干涉仪
6
"/8"晶圆手动晶圆对准半自动双光束激光干涉仪
仕嘉科技(
START SCIENCE
)是德国aixACCT公司在中国的独家代理,提供全面售前售后服务。仕嘉科技专门致力于把先进的科学仪器引进到国内科研及工业领域,代理诸多世界一流的分析测试仪器与制备设备,为广大用户提供专业化的技术咨询及售后服务。
仕嘉科技(北京)有限公司
其他会员
进入商铺
全部产品
推荐产品
多功能薄膜沉积系统
PECVD
电子束蒸发系统
反应离子刻蚀
磁控溅射系统
纳米压印系统(Nano-Imprint)
上一篇:
台阶仪
下一篇:
第二代超导带材制备全系列专用设备
店铺
收藏
咨询留言
一键拨号