CAMECA二次离子质谱仪IMS Wf和SC Ultra
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价格:面议

CAMECA二次离子质谱仪IMS Wf和SC Ultra

产品属性

  • 品牌CAMECA
  • 产地法国
  • 型号 IMS WF/SC Ultra
  • 关注度1
  • 信息完整度
  • 产地欧洲
  • 供应商性质生产商
  • 产地类别进口
  • 仪器种类磁质谱
  • 价格范围3000万-4000万
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产品描述

适用于半导体应用的高性能低能量SIMS

IMS Wf和SC Ultra经专门设计,可充分满足高级半导体对动态SIMS测量日益增长的需求该仪器可提供大范围的冲击能量(150 eV到13 keV),不影响质量分辨率和一次离子束密度,可确保在高通量条件下为具挑战性的应用提供卓越的分析性能:超浅能量和高能量注入物、超薄氮氧化物、高k金属栅极、硅锗掺杂层,Si:C:P结构、PV和LED器件及石墨烯等等。


从标准到超浅深度剖析
对半导体进行分析的首要条件是优化SIMS分析条件以进行超浅深度剖析,而无需舍弃标准深度剖析应用。CAMECA因此开发了独特的SIMS仪器设计,能够溅射具有大范围碰撞能量的样品:从用于厚结构的高能量(keV范围)到用于超薄结构的超低能量(≤150eV)。这种碰撞能量选择的灵活性适用于不同的控制良好的溅射条件(物种、入射角等)。

CAMECAIMS Wf和SC Ultra可提供此类极限低碰撞能量(EXLIE)功能的SIMS仪器,且在高质量分辨率和高透过率方面毫不逊色。 

高自动化水平
随着SIMS技术的成熟,用户希望能够降低实现高再现性和高精度测量所需的专业知识要求。未来发展趋势显然是无人值守的自动分析。CAMECA IMS Wf和SC Ultra利用计算机自动化应对该挑战,确保完全控制所有分析参数(分析方案、仪器设置等)。

气锁系统、样品台和分析室已进行了优化,最多可容纳300毫米的晶圆(IMS Wf型号),并可在一批次中装载大量样品——在IMS Wf型号中最多可装载100个样品,同时还提供气锁和分析室之间的完全电动化转移。 

凭借高自动化水平,IMS Wf和SC Ultra可执行快速深度剖析,具有优化的样品通量和出色的测量稳定性,确保了SIMS工具生产率。


看看IMS Wf和SC Ultra能够做什么-

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超浅注入物计量(EXLIE SIMS)

超低碰撞能量SIMS工具用于监测掺杂物的深度分布。


CAMECA SAS

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