GB/T 42263-2022
硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method
GBT42263-2022, GB42263-2022
- 标准号
- GB/T 42263-2022
- 别名
- GBT42263-2022, GB42263-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 42263-2022
- 引用标准
- GB/T 14264 GB/T 22461 GB/T 32267
- 适用范围
- 本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。 本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020 cm-3 (0.2%)的硅单晶中氮含量的测定,测定
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