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产品型号：莎姆克RIE-200iP
品牌：莎姆克
产品产地：日本
产品类型：进口
原制造商：莎姆克股份有限公司 Samco Inc.
状态： 在售
厂商指导价格：
未提供
英文名称：High density plasma etching machine
上市时间：
2012年
优点： 莎姆克的RIE-200iP是专为研发及半量产目的设计的搬送室型设备。它备有莎姆克的zl龙卷风ICP电极，可产生稳定及高密度的等离子体，并达到高选择比、高精确度和优秀的均匀度。另外，RIE-200iP也具有莎姆克独创的多方排气系统可供应稳定均匀的气体至晶片。 
参考成交价格：
6000万元[日元] 查中标价
957