设备名称	数量	型号	厂家
FIB （聚焦离子束）	15 （北京：4台，上海：6台，深圳：5台）	FIB200 FIB800 FIB830等，单双束系统均有	美国FEI
IC开封机	4台	-	-
SEM	2台	-	-
OM（光学显微镜）	5台	-	-
探针台	1台	-	-