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FIB(聚焦离子束)技术应用实验室
实验室简介
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实验室特色
所获奖项/认证
联系方式
仪器设备
中心技术展示
检测项目及范围
关键应用技术
微观尺寸IC 芯片修改以纠正设计错误
更正铜线工艺及铝线工艺的连线错误
分离芯片不同模块以便纠错
连接额外电阻,电容调试优化芯片功能
增加探测触点,以便分析出错原因
材料及器件失效分析
扫描电镜和透射电镜样品制备
材料和器件截面及截面二次电子像
关键服务技术
系统维修
技术改进和升级换代
系统耗材和升级配件
系统性能评估
应用研发
FIB用户培训
相关配套设备