电子探针X射线微区分析仪简称电子探针。利用髙能电子束与物质相互作用时产生的特征X射线来分析试样微区化学组成的一种显微仪器。其工作原理为：聚焦得很细的电子束照射在试样某微区，使该微区原子受激产生特征X射线，通过已知晶面间距的分光晶体对不同波长的X射线分光，来测量它的波长与强度，从而对微区所含元素进行定性定量分析。该仪器常与扫描电镜配合使用，可在观察试样形貌像的同时，进行成分分析，分析区域在微米级，分析元素可从B5—U92,精度为万分之一，分析感量可达10-14g，适用于元素的定量分析。对测量基体中的第二相，晶界和基体的组成差别、元素的分布状态非常有用。
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