扫描电镜与电子探针的区别

2021.10.25

超级艾蛋木啊

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扫描电镜和电子探针的根本区别在于电子束流:电子探针的束流(指打在样品表面的电流)要比扫描电镜大几个数量级.
由此造成:电子探针的空间分辨率差,二次电子和背散射电子分辨率差.
如果要求不高, 电子探针可以当作扫描来用.

电子探针

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