用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征x射线。
分析特征x射线的波长(或特征能量)即可知道样品中所含元素的种类(定性分析)。
分析x射线的强度，则可知道样品中对应元素含量的多少(定量分析)。
电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同，只是在检测器部分使用的是x射线谱仪，专门用来检测x射线的特征波长或特征能量，以此来对微区的化学成分进行分析。
因此，除专门的电子探针仪外，有相当一部分电子探针仪是作为附件安装在扫描电镜或透射电镜镜简上，以满足微区组织形貌、晶体结构及化学成分三位一体同位分析的需要。
电子探针的镜筒及样品室和扫描电镜并无本质上的差别，因此要使一台仪器兼有形貌分析和成分分析两个方面的功能，往往把扫描电子显微镜和电子探针组合在一起。
电子探针的信号检测系统是x射线谱仪，用来测定特征波长的谱仪叫做波长分散谱仪(WDS)或波谱仪。
用来测定x射线特征能量的谱仪叫做能量分散谱仪(EDS)或能谱仪。
首页
