每款仪器都不是的，ICP-MS也有它的缺点：对有些轻质量元素分析性能并不很理想，分析溶液中含盐量的耐受力较差（通常小于0.2%：ICP-AES:2%-10%TDS），仪器的性能与操作参数和状态相关性极强，所以在某种程度上，分析结果的质量取决于操作人员的水平，与ICP-AES相比，仪器没那么皮实，容易出故障，维护保养要求高。所以，要特别根据仪器的禁忌和某些缺陷，针对性的进行维护保养。
在使用ICP-MS时应注意的事项：
一．环境温度和湿度有一定要求：
等离子体光谱与其它大型精密仪器一样，需要在一定的环境下运行，失去这些条件，不仅仪器的使用效果不好，而且改变仪器的检测性能，甚至造成损坏，缩短寿命。
根据光学仪器的特点，对环境温度和湿度有一定要求。如果温度变化太大，光学元件受温度变化的影响就会产生谱线漂移，造成测定数据不稳定，一般室温要求维持在20～25摄氏度间的一个固定温度，温度变化应小于±1摄氏度。
一般室内湿度应小于70%，控制在45～60%之间，应有空气净化装置。仪器受潮及室温变化过大，会定位困难、经常发生故障。
二．仪器的防尘很重要：
一般国内实验室都不具备防尘、过滤尘埃的设施，当实验室内需要采用排风机，排除仪器的热量及工作时产生的有毒气体时，实验室与外部就形成压力差，实验室产生负压，室外含有大量灰尘的空气从门窗的缝隙中流入室内，大量积聚在仪器的各个部位上，容易造成高压元件或接头打火，电路板及接线、插座等短路、漏电等各种各样的故障，因此，需要经常进行除尘。
三．对气体控制系统的维护保养：
ICP的气体控制系统是否稳定正常地运行，直接影响到仪器测定数据的好坏，如果气路中有水珠、机械杂物杂屑等都会造成气流不稳定，因此，对气体控制系统要经常进行检查和维护。首先要做气体试验，打开气体控制系统的电源开关，使电磁阀处于工作状态，然后开启气瓶及减压阀，使气体压力指示在额定值上，然后关闭气瓶，观察减压阀上的压力表指针，如在几个小时内没有下降或下降很少，则气路中有漏气现象，需要检查和排除。
氩气中常夹杂有水分和其它杂质，管道和接头中也会有一些机械碎屑脱落，造成气路不畅通。因此，需要定期进行清理，拔下某些区段管道，然后打开气瓶，短促地放一段时间的气体，将管道中的水珠，尘粒等吹出。
四．雾化器的定期清理：
雾化器是进样系统中精密，关键的部份，需要很好的维护和使用。要定期的清理，特别是测定高盐溶液之后，雾化器的顶部，炬管喷嘴会积有盐份，造成气溶胶通道不畅，常常反映出来的是测定强度下降，仪器反射功率升高等。炬管上积尘或积炭都会影响点燃等离子体焰炬和保持稳定，也影响反射功率，因此，要定期用酸洗，水洗，后，用无水乙醇洗并吹干，经常保持进样系统及炬管的清洁。
五．使用仪器中尽量减少开停机的次数：
开机测定前，必须做好安排，事先标好各项准备工作，切忌在同一段时间里开开停停，仪器频繁开启容易造成损坏，这是因为仪器在每次开启的时候，瞬时电流大大高于运行正常时的电流，瞬时的脉冲冲击，容易造成功率管灯丝断丝，碰极短路及过早老化等，因此使用中需要倍加注意，一旦开机就一气呵成，把要做的事做完，不要中途关停机。
六．仪器需要定期的维护：
1.每次点火前检查蠕动泵泵管, 看是否有损伤和过度磨损。
2.定期检查锥, 看是否需要清洗。
3.检查雾化器, 看是否被堵。
4.定期检查炬管, 主要是中心管, 以确保无损坏。
5.每半年检查更换一次机械泵泵油。
6.定期清洗两个空气过滤网。
7.定期检查排风风量, 以确保风力充足。
8.定期检查地线, 以确保小于4欧姆。
9.真空规如打不开，或显示1*10-8时需要清洁处理真空规内部。
10.仪器长期不用停机时，保证环境灰尘尽量少，温度不能太高，湿度不能太大
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