热电离质谱法（Thermal ionization mass spec-trometry，TIMS）是基于经分离纯化的试样在Re、Ta等高熔点的金属带表面上，通过高温加热产生热致电离的一门质谱技术。主要应用于地球化学、宇宙化学及地质年代学等领域的高精度同位素比值的测定，也可应用于原子量测定及高精度的同位素稀释分析。
TIMS仪器主要经历了由单接收器到多接收器的发展过程。多接收器型的代表性仪器主要有Finnigan公司的MAT261、262及最新推出的TritonTI和VG公司的VG354、VG Sector54、VG Sector 54-30等。多接收质谱的问世，使得高精度、高准确度、快速的同位素比值测定成为可能。
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