能谱仪是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜使用。
包括以下几指标：
探头：一般为Si(Li)锂硅半导体探头
探测面积：几平方毫米
分辨率（MnKa）：～133eV
探测元素范围：Be4～U92
使用范围：
1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析；
2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定；
3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测；
4、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域； 5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。
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