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致力于为分析测试行业奉献终身
检测范围:原子序数大于He的所有元素 检测极限:0.1 at% 信息深度:0.5~5 nm 空间分辨率:25 nm 能量分辨率≤0.3% 半定量:相对原子灵敏度因子法。