臭氧发生器的气源可以是：空气、液态氧（LOX）、气态氧。
空气制臭氧，臭氧发生设备投资高，运行电耗高，臭氧产量与质量分数低，臭氧质量分数一般在3%～4%，生产1 kgO3耗电量在23～25 kW·h。
液态氧（LOX）制臭氧，臭氧发生设备投资低，运行电耗也低。臭氧质量分数可达18%甚至更高，生产1 kgO3耗电量在10～13 kW·h。但液态氧一般需外购，臭氧发生总成本随着液态氧价格的变化而变化。
气态氧制臭氧，臭氧发生设备的投资比空气制臭氧低，但比液态氧制臭氧要高。运行电耗也是介于两者之间。臭氧质量分数也可达到18%甚至更高，生产1 kgO3耗电量在11～14 kW·h。
气态氧一般是现场制取，制取的方法主要有： VPSA，VSA和PSA。它们都是利用分子筛吸附空气中的氮气，让空气中的氧气从分子筛通过，从而达到空分的目的。当分子筛吸附饱和后，再通过变压，使分子筛中的氮气脱落从而得到再生。之后，分子筛再重新工作。
现场制氧气，氧气体积分数一般在90%～93%，生产1 kgO2能耗一般在0.3～0.4 kW·h 。
用液态氧制臭氧，试验表明氧气体积分数在97.7%，氮气体积分数在2.3%时，臭氧发生器的臭氧产率最高。
对于不同的地区，究竟采用何种气源，设计时应根据当地的电价和氧气价格经成本分析后再确定。
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