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透射电子显微镜的束取向调整器及合轴介绍

2022.9.30
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coco5517

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  最理想的电镜工作状态,应该是使电子枪、各级透镜与荧光屏中心的轴线绝对重合。但这是很难达到的,它们的空间几何位置多多少少会存在着一些偏差,轻者使电子束的运行发生偏离和倾斜,影响分辨力;稍微严重时会使电镜无法成像甚至不能出光(电子束严重偏离中轴,不能射及荧光屏面)。为此电镜采取的对应弥补调整方法为机械合轴加电气合轴的操作。

  机械合轴是整个合轴操作的先行步骤,通过逐级调节电子枪及各透镜的定位螺丝,来形成共同的中心轴线。这种调节方法很难达到十分精细的程度,只能较为粗略地调整,然后再辅之以电气合轴补偿。

  电气合轴是使用束取向调整器的作用来完成的,它能使照明系统产生的电子束做平行移动和倾斜移动,以对准成像系统的中心轴线。束取向调整器分枪(电子枪)平移、倾斜和束(电子束)平移、倾斜线圈两部分。前者用以调整电子枪发射出电子束的水平位置和倾斜角度;后者用以对聚光镜通道中电子束的调整。均为在照明光路中加装的小型电磁线圈,改变线圈产生的磁场强度和方向,可以推动电子束做细微的移位动作。

  合轴的操作较为复杂,不过在合轴操作完成后,一般不需经常调整。只是束平移调节作为一 个经常调动的旋钮,放在电镜的操作面板上,供操作者在改变某些工作状态(如放大率变换)后,将偏移了的电子束亮斑中心拉回荧光屏的中心,此调节器旋钮也称为“亮度对中”钮。

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