长 假 期 间
TESCAN 仪器用户须知
2019
尊敬的 TESCAN 仪器用户，您好！
春节假期即将临近，为了让您的仪器在假期之间处于良好的休养状态(“闲者”模式)，并在假期结束之后能迅速进入“战斗”模式，请您协助对仪器进行以下操作：
01
钨灯丝电镜
（一）若您使用的是钨灯丝扫描电镜（TESCAN VEGA系列），建议您在长假期间正常关闭电镜。
* 钨灯丝电镜《关机操作步骤》
1、请务必取出样品，退出所有探测器，将样品台返回至初始位置。
2、关闭仓门抽真空，推荐不小于1小时。
3、在软件中
4、退出电镜软件，按正常程序关闭电脑。
5、依次关闭电镜电源和UPS电源。
（温馨提示：一定要养成抽真空后关闭电镜的好习惯，这样才能够和您的电镜“长长久久、朝朝暮暮”。）
（二）那假期结束之后，又如何让您的电镜乖乖的进入“工作”模式呢？
* 钨灯丝电镜《开机操作步骤》
1、向物业部门确认实验室已经开始稳定供电。
2、开启UPS，并检查状态，确认输出正常。
3、开启电镜开关。
4. 打开电脑，进入软件。
（1）如果进入软件时，摄像头没有画面，请务必重启电脑，然后在VegaTC上
（2）进入软件，顺便检查一下真空变化。如果真空度不大于250Pa，说明电镜状态良好；否则，电镜可能存在真空泄露。（如出现该情况，无论是否影响当前使用，都建议您立即联系TESCAN工程师。）
5、如果一切正常，再点一下standby解除待机（即standby为灰色，而不是蓝色）。此时，电镜就可以正常使用啦。
02
场发射和FIB
如果您使用的是场发射扫描电镜和FIB双束电镜：
（一）在“不是非常长”的长假期间，如果单位可以不断电，我们不建议您关闭仪器电源。此时，只需按照上述* 钨灯丝电镜《关机操作步骤》1-4，关闭电脑即可；节后打开电脑，取消待机，抽上真空就可以正常使用了。
为什么场发射和FIB在长假期间都不需要关闭电源呢？
这是因为场发射电镜和 FIB 在关机后，再启动需要重新抽真空，做 baking，启动灯丝和进行对中等操作，而完成这全部过程往往需要几天的时间，所以 TESCAN 工程师会贴心的建议让您的场发射仪器和 FIB 处于“常开启”的状态。
但是，长假期间一般都没有人管理设备。如果一直开着电镜，一旦断电，又没有人在现场的话，就会有故障的隐患，该如何是好呢？
如果长假期间您都不会使用电镜，建议您关闭场发射和FIB的电子枪，让设备处于“待机(standby)”状态，此时既不耗费灯丝，整台设备也将处于最小耗电状态。
TESCAN每台场发射和FIB都配置了IPCU单元，它可以保证即使在断电的状态下，也能使整个电镜系统内部保持一定时间的真空状态，所以您只要让设备处于待机状态，就不需要担心断电啦！等您回来上班后，只要花费最多1个小时的时间重启电子枪，就能够继续使用您的仪器了。
（温馨提示：不过，在这里要提醒您，如果您的假期比较长，而实验室又确实存在断电隐患的话，建议最好按照下面* 场发射电镜和FIB《关机操作步骤》执行。
注：如果单位必须断电，无法保证在长假期间机器正常供电，我们建议您按照以下步骤操作。
* 场发射电镜和FIB
《关机操作步骤》
1、请务必取出样品，退出所有探测器，将样品台返回至初始位置。
2、关闭仓门抽真空，推荐不小于1小时。
3、请使用Supervisor账户登录软件。
4、在SEM-FEG HV Control菜单里，
（注意：关闭高压需要一定时间，待图示区域全部为0后，关闭此窗口）
5、在软件中
6、待界面显示如下右图所示状态时，便可关闭电镜软件，并按正常程序关闭电脑。
7、保持UPS继续工作，待外部交流切断后，UPS会继续为离子泵供电直至电力耗尽，最大限度保护电子枪真空。
（二）假期后，如何让场发射电镜恢复到正常使用状态呢？
* 场发射电镜《开机操作步骤》
1、向物业部门确认已经开始稳定供电。
2、检查UPS，确认工作状态正常，输出正常。
3、打开电脑，使用Supervisor账户登录软件，进入软件。
（1）如果进入软件时，摄像头没有画面，请务必重启电脑，然后在MiraTC上
（2）进入软件，顺便检查一下样品室的真空变化，如果真空度不大于250Pa，说明电镜状态良好；否则，电镜可能存在真空泄露。（如出现该情况，无论是否影响当前使用，都建议您立即联系TESCAN工程师。）
4、点Standby取消待机状态（即standby为灰色，而不是蓝色）。
5、观察电子枪的真空，根据不同情况采取不同做法：
（1）如果离子泵没有停机，您可以看到Gun的真空是绿色，确认真空＜5e-008Pa时，
（注意：开启高压需要一定时间，待图示区域数字相同后，升高压结束，关闭窗口。）
（2）如果Gun状态条显示红色，或是没有显示，通常离子泵已经停机，请先点PUMP抽真空，至Column和Chamber都变成绿色，然后在菜单SEM-Bake out，打开Bake out窗口。
(注意：在进行Bake out操作前，请您先联系TESCAN工程师，避免误操作。)
A. 如果Gun真空优于5e-004Pa，
B. 如果真空不满足，或是看不到数值，离子泵不能开启，先点PREPUMP GUN，待真空优于5e-004Pa后，
6、高压升上去后，请观察5分钟，电子枪的真空不应有大的变化。此时，就可以正常使用电镜了。
注：FIB设备的开机操作，请您直接联系TESCAN工程师。
若您对以上操作有疑惑，请联系
TESCAN 应用与服务专线
400-821-5286（热线时间：每天9:00-18:00）
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