X-ray测厚仪利用X射线穿透被测材料时，X射线的强度的变化与材料的厚度相关的特性，从而测定材料的厚度，是一种非接触式的动态计量仪器。它以X射线管、准直器、探测器等为核心，采集计算数据并输出计量结果。
一、和传统准直器方案对比
上图中左侧是传统使用准直器聚光的光路，中间是使用毛细管聚光的光路。在同样功率输出的情况，毛细管光路在样品表面产生的强度是普通准直器的40～100倍。
二、光路原理示意图
上图中可以看出，我们目前可以达到最小的光斑为8um，而我们实际应用最普遍的光斑大小为15um。
在上图的光斑使用上，我们可以截取最小的光斑点，当然也可以根据实际需要调整工作距离，选取其它位置。
其它应用参数表：
能量范围
0.1～25Kev
频带宽度
Broadband
调整汇聚光束能力
可以
调整平行光束能力
可以
光斑尺寸
正常使用15um的光斑，可根据实际情况调整工作距离来选取不同大小的光斑
工作距离
4mm～∝
三、应用方案测试结果
1、MLCCNi film 单镍层分析
根据对最大值和最小值的差值统计，测试时间达到4秒时，差值变得平稳，所以我们可以根据实际使用要求选择1～4秒的分析时间。
2、MLCC 电极测试镍钯金结果
分析时间：5秒
3、EMI 包装组件的测试：
4、 Au/PdNi/Ni/Cu引线框架分析
5、ENEPIG稳定性测试
四、技术说明和展望
目前毛细管(Poly Capillary Optic)技术在ED-XRF领域的应用还是处在应用开发初期，目前国际上只有少数几家公司有成熟的应用方案。我公司通过国际技术合作和大量的研发投入，目前已经掌握了基础的应用方案和部分配件的制造技术，并且在进一步大力拓展新的应用方案。
根据我们的试验，目前该技术除了能大大提升台式EDXRF的分析效率、精度和稳定性外，在在线设备上、RoHS和合金成分分析等领域微含量分析上将会有重大的突破，随着配套硬件的技术突破甚至将来可以取代部分WDXRF和ICP等化学分析设备的应用。
注：以上全部测试结果都是采用我公司iEDX-150uT型号镀层测厚仪做的测试，不存在抄袭和杜撰，我公司可对所有技术结论和技术方案作出解释。也欢迎广大同行和应用客户能够和我们一起开发、探讨新技术。
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