● 第三代场发射和FIB开机步骤 ●
1、向物业部门确认已经开始稳定供电。
2、检查UPS，确认工作状态正常，输出正常。
3、打开电脑，使用Supervisor账户登录软件，进入软件。
（1）如果进入软件时，摄像头没有画面，请务必重启电脑，然后在MiraTC上
（2）进入软件，顺便检查一下样品室的真空变化，如果真空度不大于250Pa，说明电镜状态良好；否则，电镜可能存在真空泄露。（如出现该情况，无论是否影响当前使用，都建议您立即联系TESCAN工程师。）
4、点Standby取消待机状态（即standby为灰色，而不是蓝色）。
5、观察电子枪的真空，根据不同情况采取不同做法：
（1）如果离子泵没有停机，您可以看到Gun的真空是绿色，确认真空＜5e-008Pa时，
（注意：开启高压需要一定时间，待图示区域数字相同后，升高压结束，关闭窗口。）
（2）如果Gun状态条显示红色，或是没有显示，通常离子泵已经停机，请先点PUMP抽真空，至Column和Chamber都变成绿色，然后在菜单SEM-Bake out，打开Bake out窗口。
(注意：在进行Bake out操作前，请您先联系TESCAN工程师，避免误操作。)
A. 如果Gun真空优于5e-004Pa，
B. 如果真空不满足，或是看不到数值，离子泵不能开启，先点PREPUMP GUN，待真空优于5e-004Pa后，
6、高压升上去后，请观察5分钟，电子枪的真空不应有大的变化。此时，就可以正常使用电镜了。
● 第四代场发射和FIB开机步骤 ●
注意：FIB设备的开机操作，请您直接联系TESCAN工程师。
TESCAN 应用与售后专线
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（热线时间：每天8:00-16:00）
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