EN ISO 23131:2022
椭偏测量原理
Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021)
2023-05
EN ISO 23131:2022 中，可能用到以下仪器
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- 标准号
- EN ISO 23131:2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 欧洲标准化委员会
- 当前最新
- EN ISO 23131:2022
- 适用范围
- This document specifies a method for determining optical and dielectric constants in the UV-VIS-NIR spectral range as well as layer thicknesses in the field of at-line production control, quality assurance and material development through accredited test laboratories. It is applicable to stand-alone measuring systems. The presentation of the uncertainty of results conforms to ISO/IEC Guide 98-3.
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