EN ISO 23131:2022
椭偏测量原理

Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021)

2023-05

说明：

  • 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
  • 鼠标放置在图上可以看到标题编号；
  • 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小；
  • 表示标准的节点，可以拖动；
  • 绿色表示标准：EN ISO 23131:2022 ， 绿色、红色表示本平台存在此标准，您可以下载或者购买，灰色表示平台不存在此标准；
  • 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。
标准号
EN ISO 23131:2022
发布
2022年
发布单位
欧洲标准化委员会
当前最新
EN ISO 23131:2022
 
 
本文件规定了通过认可的测试实验室确定紫外-可见-近红外光谱范围内的光学和介电常数以及在线生产控制、质量保证和材料开发领域的层厚度的方法。 它适用于独立的测量系统。 结果不确定度的表示符合ISO/IEC Guide 98-3。

推荐

观点|反射式RAP型椭圆偏振光谱仪及其应用

2 椭偏光谱测量原理椭偏光谱测量以光波为测量媒介，可以测定任意波长下 2 个相互独立的椭偏参数，通过对椭偏参数的求解即可获得样品的光学性质，具有非破坏性与非接触的优点。被测的样品可以是固体、液体或者薄膜，可以在大气、真空、高温等多种环境下对样品结构与光学性质进行研究。...

首位华人！985大学青年教师，获国际大奖！

国家自然科学基金重大科研仪器研制项目，51727809，高分辨层析成像穆勒矩阵椭偏仪研制与应用基础研究，2018/01-2022/12，701万元，在研，参与。7. 国家科技重大专项子课题，2017ZX02101006-004，套刻误差光学测量技术研究，2017/01-2020/12，742万元，在研，参与。来源：华中科技大学 等...

EN ISO 23131:2022 中可能用到的仪器设备

椭偏仪


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号