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2 椭偏光谱测量原理椭偏光谱测量以光波为测量媒介，可以测定任意波长下 2 个相互独立的椭偏参数，通过对椭偏参数的求解即可获得样品的光学性质，具有非破坏性与非接触的优点。被测的样品可以是固体、液体或者薄膜，可以在大气、真空、高温等多种环境下对样品结构与光学性质进行研究。...
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目，51727809，高分辨层析成像穆勒矩阵椭偏仪研制与应用基础研究，2018/01-2022/12，701万元，在研，参与。7. 国家科技重大专项子课题，2017ZX02101006-004，套刻误差光学测量技术研究，2017/01-2020/12，742万元，在研，参与。来源：华中科技大学 等...
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