SJ/T 10478-1994
磁控溅射设备通用技术条件

General specification for magnetic sputtering equipment

SJT10478-1994, SJ10478-1994


SJ/T 10478-1994 中,可能用到以下仪器设备

 

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江苏天瑞仪器股份有限公司

 

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大面积电制冷能谱仪

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SJ/T 10478-1994

标准号
SJ/T 10478-1994
别名
SJT10478-1994
SJ10478-1994
发布
1994年
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ/T 10478-1994
 
 
本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于磁控溅射设备。

SJ/T 10478-1994相似标准


SJ/T 10478-1994 中可能用到的仪器设备





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