SJ/T 10478-1994
磁控溅射设备通用技术条件

General specification for magnetic sputtering equipment

SJ/T 10478-1994 中，可能用到以下仪器

 

X荧光镀层测厚仪 Thick 800A

X荧光镀层测厚仪 Thick 800A

江苏天瑞仪器股份有限公司

 

安东帕涂层测厚仪PVD/CVD

安东帕涂层测厚仪PVD/CVD

安东帕（上海）商贸有限公司

 

Gatan 精密刻蚀镀膜系统PECS II 685

Gatan 精密刻蚀镀膜系统PECS II 685

北京欧波同光学技术有限公司

 

ILMVAC LVS 实验室真空系统

ILMVAC LVS 实验室真空系统

赛默飞实验室产品和服务

 

SJ/T 10478-1994

标准号
SJ/T 10478-1994
发布日期
1994年04月11日
实施日期
1994年10月01日
废止日期
无
中国标准分类号
L98
国际标准分类号
17.220
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于磁控溅射设备。

SJ/T 10478-1994 中可能用到的仪器设备

X荧光光谱/XRF（能量色散型X荧光光谱仪） 生物显微镜 摩擦磨损试验机 附着力测试仪 在线测厚仪 X射线荧光测厚仪 涂镀层及薄膜测厚仪 离子溅射仪 电热消解仪/消化炉


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