SJ/T 10478-1994
磁控溅射设备通用技术条件

General specification for magnetic sputtering equipment

SJ/T 10478-1994 发布历史

本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于磁控溅射设备。

SJ/T 10478-1994由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1994-04-11，并于 1994-10-01 实施。

SJ/T 10478-1994 在中国标准分类中归属于: L98 检验专用设备，在国际标准分类中归属于: 17.220 电学、磁学、电和磁的测量。

SJ/T 10478-1994的历代版本如下：

• 1994年04月11日 SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件

标准号

SJ/T 10478-1994

发布日期

1994年04月11日

实施日期

1994年10月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L98

国际标准分类号

17.220

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于磁控溅射设备。

SJ/T 10478-1994 中可能用到的仪器设备