SJ/T 10312-1992
电子束曝光机通用技术条件

General specification of electron beam exposure system

SJ/T 10312-1992 中，可能用到以下仪器设备

 

日本电子JSM-6510系列扫描电子显微镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

FEI Quanta x50 FEG场发射环境扫描电镜

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赛默飞电子显微镜（原FEI）

 

蔡司ULTRA 55扫描电子显微镜

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

日本电子6700F高分辨扫描电子显微镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

PREP 9100 GC痕量组分收集器

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上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

蔡司Gemini Sigma 300/VP SEM超高分辨率场发射扫描电镜

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

蔡司SIGMA 500/VP高分辨率场发射扫描电镜

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

蔡司MultiSEM 505/MultiSEM 506扫描电子显微镜

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

日本电子JASM-6200 ClairScope 大气压扫描电子显微镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JCM-6000plus NeoScope 台式扫描电子显微镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

日本电子JSM-7200F扫描电子显微镜

日本电子JSM-7200F扫描电子显微镜

日本电子株式会社(JEOL)

 

快速成型制造

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雷尼绍（上海）贸易有限公司

 

大气压扫描电镜

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日本电子株式会社(JEOL)

 

聚焦离子束系统

聚焦离子束系统

北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

ULTRA 结构分析用场发射扫描电子显微镜

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

过程控制用微粒分析工具/扫描电镜SEM

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北京欧波同光学仪器有限公司/欧波同/OPTON

 

Quanta SEM

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赛默飞电子显微镜（原FEI）

 

蔡司ULTRA 55扫描电子显微镜

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

风味电子感官分析平台系统

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上海仪真分析仪器有限公司

 

蔡司Gemini Sigma 300/VP SEM超高分辨率场发射扫描电镜

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

蔡司SIGMA 500/VP高分辨率场发射扫描电镜

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

蔡司MultiSEM 505/MultiSEM 506扫描电子显微镜

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

聚焦离子束系统

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

ULTRA 结构分析用场发射扫描电子显微镜

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

过程控制用微粒分析工具/扫描电镜SEM

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蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司

 

氦镉激光器

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北京卓立汉光仪器有限公司/ZOLIX

 

NL310系列高能量电光调Q激光器

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北京欧兰科技发展有限公司

 

连续波激光器

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超越系列XP分析天平

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梅特勒-托利多中国（Mettler-Toledo）

 

超越系列XS分析天平

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梅特勒-托利多中国（Mettler-Toledo）

 

梅特勒 新经典系列ME天平

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梅特勒ME系列千分之一分析天平ME103/ME203/ME303/ME403

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梅特勒-托利多中国（Mettler-Toledo）

 

梅特勒AL 分析天平

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梅特勒-托利多中国（Mettler-Toledo）

 

岛津电子托盘天平UW/UX系列

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岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司

 

PL602E梅特勒便携式电子天平，梅特勒天平

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梅特勒-托利多中国（Mettler-Toledo）

 

分析天平AUX220

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岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司

 

分析天平

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梅特勒-托利多中国（Mettler-Toledo）

 

BT系列准微量、分析、精密天平

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德国赛多利斯集团

 

赛多利斯电子分析天平 ED系列

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德国赛多利斯集团

 

赛多利斯电子天平

赛多利斯电子天平

德国赛多利斯集团

 

FA电子分析天平

FA电子分析天平

上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

JA电子精密天平

JA电子精密天平

上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

FA系列电子分析天平

FA系列电子分析天平

上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

YP电子天平（带风罩）

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上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

MP电子天平

MP电子天平

上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

JY电子天平

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上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

大称量电子天平

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上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

天平、电子天平、分析天平

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上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

电子天平

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上海舜宇恒平科学仪器有限公司

 

Anton Paar HV 高真空摩擦试验机

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安东帕（上海）商贸有限公司

 

SJ/T 10312-1992

标准号
SJ/T 10312-1992
发布日期
1992年06月15日
实施日期
1992年12月01日
废止日期
无
中国标准分类号
L99
国际标准分类号
31-550
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准规定了电子束曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。 本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。

SJ/T 10312-1992 中可能用到的仪器设备

感官智能分析系统 扫描电镜SEM 激光器 条码扫描仪 天平/电子天平/分析天平


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