SJ/T 10312-1992
电子束曝光机通用技术条件
General specification of electron beam exposure system
SJT10312-1992, SJ10312-1992
SJ/T 10312-1992 发布历史
SJ/T 10312-1992由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1992-06-15，并于 1992-12-01 实施。
SJ/T 10312-1992 在中国标准分类中归属于: L99 其他生产设备，在国际标准分类中归属于: 31-550 电子产品生产设备。
SJ/T 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件的最新版本是哪一版？
最新版本是 SJ/T 10312-1992 。
SJ/T 10312-1992的历代版本如下：
- 1992年 SJ/T 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件
本标准规定了电子束曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。 本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。
SJ/T 10312-1992相似标准
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