SJ/T 10312-1992
电子束曝光机通用技术条件

General specification of electron beam exposure system

SJ/T 10312-1992 中，可能用到以下仪器

 

OLS41003D测量激光显微镜

OLS41003D测量激光显微镜

岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司

 

Thermo Scientific™ Apreo™ 2 扫描电子显微镜

Thermo Scientific™ Apreo™ 2 扫描电子显微镜

赛默飞电子显微镜（原FEI）

 

Thermo Scientific™ Verios™ 扫描电子显微镜

Thermo Scientific™ Verios™ 扫描电子显微镜

赛默飞电子显微镜（原FEI）

 

JSM-IT100钨灯丝扫描电子显微镜

JSM-IT100钨灯丝扫描电子显微镜

日本电子株式会社(JEOL)

 

JSM-IT500 扫描电子显微镜

JSM-IT500 扫描电子显微镜

日本电子株式会社(JEOL)

 

JSM-IT500HR 扫描电子显微镜

JSM-IT500HR 扫描电子显微镜

日本电子株式会社(JEOL)

 

基恩士 高精度三维扫描测量仪VL系列

基恩士 高精度三维扫描测量仪VL系列

基恩士（中国）有限公司

 

SJ/T 10312-1992

标准号
SJ/T 10312-1992
发布日期
1992年06月15日
实施日期
1992年12月01日
废止日期
无
中国标准分类号
L99
国际标准分类号
31-550
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准规定了电子束曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。 本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。

SJ/T 10312-1992 中可能用到的仪器设备

感官智能分析系统 扫描电镜SEM 激光器 条码扫描仪 天平/电子天平/分析天平


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