T/JSQA 127-2022
光刻机用超高压短弧曝光光源
Ultrahigh pressure short arc stepper exposure lighting source
- 标准号
- T/JSQA 127-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/JSQA 127-2022
- 分类和型号命名:分类、曝光灯的型号命名； 技术要求：外形及主要尺寸、光电参数及平均寿命、外观质量、灯头牢固度、同轴度、启动性能、振动性能、碰撞冲击性能、跌落冲击性能。
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