T/JSQA 127-2022
光刻机用超高压短弧曝光光源

Ultrahigh pressure short arc stepper exposure lighting source


标准号
T/JSQA 127-2022
发布
2022年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/JSQA 127-2022
 
 
适用范围
分类和型号命名:分类、曝光灯的型号命名; 技术要求:外形及主要尺寸、光电参数及平均寿命、外观质量、灯头牢固度、同轴度、启动性能、振动性能、碰撞冲击性能、跌落冲击性能。

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