T/JSQA 127-2022
光刻机用超高压短弧曝光光源

Ultrahigh pressure short arc stepper exposure lighting source

光刻机用超高压短弧曝光光源 是非强制性国家标准，您可以免费下载预览页

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T/JSQA 127-2022 发布历史

T/JSQA 127-2022由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2022-03-03，并于 2022-03-07 实施。

T/JSQA 127-2022在国际标准分类中归属于: 29.140.30 荧光灯、放电灯。

T/JSQA 127-2022的历代版本如下：

2022年 T/JSQA 127-2022 光刻机用超高压短弧曝光光源

分类和型号命名:分类、曝光灯的型号命名；技术要求：外形及主要尺寸、光电参数及平均寿命、外观质量、灯头牢固度、同轴度、启动性能、振动性能、碰撞冲击性能、跌落冲击性能。

标准号: T/JSQA 127-2022
发布: 2022年
发布单位: 中国团体标准
当前最新: T/JSQA 127-2022

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