T/JSQA 127-2022
光刻机用超高压短弧曝光光源

Ultrahigh pressure short arc stepper exposure lighting source


T/JSQA 127-2022 发布历史

T/JSQA 127-2022由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2022-03-03,并于 2022-03-07 实施。

T/JSQA 127-2022在国际标准分类中归属于: 29.140.30 荧光灯、放电灯。

T/JSQA 127-2022的历代版本如下:

 

分类和型号命名:分类、曝光灯的型号命名; 技术要求:外形及主要尺寸、光电参数及平均寿命、外观质量、灯头牢固度、同轴度、启动性能、振动性能、碰撞冲击性能、跌落冲击性能。

标准号
T/JSQA 127-2022
发布
2022年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/JSQA 127-2022
 
 

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