沈阳科晶自动化设备有限公司
研制出高效多晶硅铸锭炉、全自动视觉定位丝网印刷装备、全自动电池片测试分选装备、高产能全自动四管扩散炉装备和高产能全自动四管等离子体增强化学气相淀积(PECVD)装备,并均实现技术成果转化。此外,中心还建有一条年产6000台套大型装备装配流水线。...
PECVD过程 为了进一步减少表面反射,提高电池的转换效率,需要沉积一层SiN(氮化硅)减反射膜。现在工业生产中常采用PECVD设备制备减反射膜。PECVD即等离子体增强型化学气相沉积。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved 京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号