VDI 2083 Blatt 9.1-2005
洁净室技术与所需清洁度和表面清洁度的兼容性

Clean room technology - Compatibility with required cleanliness and surface cleanliness

被代替

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标准号: VDI 2083 Blatt 9.1-2005
发布: 2005年
发布单位: VDI - Verein Deutscher Ingenieure
替代标准: VDI 2083 Blatt 9.1-2006
当前最新: VDI 2083 BLATT 9.1-2021

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ISO14644《洁净室及其相关受控环境》标准组成

　　按化学物浓度对表面清洁度进行分类　　2013 　　根据化学化合物或元素的存在情况定义洁净室表面洁净度的分类系统　　ISO14644-12 　　通过纳米级颗粒浓度监测空气洁净度的指南　　2018 　　根据悬浮纳米级颗粒物浓度的空气洁净度的监测　　ISO14644-13 　　对表面进行清洁以便达到规定的颗粒物和化学物洁净度　　2017 　　用清洁剂处理洁净室表面、洁净室设备表面和洁净室中材料表面的特定清洁程度...

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