VDI 2083 Blatt 9.1-2006
洁净室技术 与要求的清洁度和表面清洁度的兼容性
Clean room technology - Compatibility with required cleanliness and surface cleanliness
- 标准号
- VDI 2083 Blatt 9.1-2006
- 发布
- 2006年
- 发布单位
- 德国机械工程师协会
- 替代标准
- VDI 2083 BLATT 9.1-2021
- 当前最新
- VDI 2083 BLATT 9.1-2021
- 引用标准
- DIN 50452-1:1995 DIN 53804-2:1985 DIN 55301:1978 DIN EN 1081:1998 DIN EN 1335-1 Berichtigung 1:2002 DIN EN 1335-1:2002 DIN EN 1335-2:2002 DIN EN 1335-3:2002 DIN EN 13779:2005 DIN EN 61340-5-1:2001 DIN EN 61340-5-2:2002 DIN EN ISO 4287:1998 DIN EN ISO 8785
- 被代替标准
- VDI 2083 Blatt 4-1996 VDI 2083 Blatt 8-2002 VDI 2083 Blatt 9.1-2005
- 适用范围
- 该 VDI 指南主要涉及颗粒污染。化学（分子）、生物和放射性表面污染不是本指南中的具体问题；对于过程介质也是如此。本指南提供了术语与所需洁净度的兼容性和洁净室兼容性的定义，并根据这些定义，分类和程序用于确定设备和空气处理组件在空气洁净度和其他参数进行评估的环境中使用的适用性符合技术规则（见图3）。此外，它还描述了与受控环境相关的设备和空气处理组件的排气和静电特性。表面清洁度及其分类也在本指南的范围内。设备与所需清洁度的兼容性包括与过程相关的所有污染物。本指南中描述的测量技术用于评估设备与所需清洁度的兼容性，包括洁净室兼容性、表面颗粒清洁度、除气行为。
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