BS ISO 22278:2020
精细陶瓷(先进陶瓷、先进技术陶瓷) 采用平行X射线束X射线衍射法测定单晶薄膜(晶片)结晶质量的测试方法

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam


BS ISO 22278:2020 中,可能用到以下仪器设备

 

XRD Omega扫描仪

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铂悦仪器(上海)有限公司

 

4H-SiC上镀4H-SiC薄膜

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合肥科晶材料技术有限公司/合肥科晶/kj group

 

BS ISO 22278:2020

标准号
BS ISO 22278:2020
发布
2020年
发布单位
英国标准学会
当前最新
BS ISO 22278:2020
 
 
ISO 22278 是什么? ISO 22278 规定了使用平行 X 射线束 XRD 方法测量单晶薄膜(晶圆)晶体质量的测试方法。 ISO 22278适用于所有作为块体或外延层结构的单晶薄膜(晶圆)。 ISO 22278 适合谁?关于单晶薄膜晶体质量的 ISO 22278 适用于: 陶瓷制造商 机械工程师

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