T/ZZB 1373-2019
7N 光电子级超纯氨

7N photoelectric class hyperpure ammonia


T/ZZB 1373-2019 中，可能用到以下仪器设备

 

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T/ZZB 1373-2019
标准号
T/ZZB 1373-2019
发布
2019年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/ZZB 1373-2019
 
 
本标准规定了 7N 光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。 本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。 分子式： NH3。 相对分子质量： 17.031（按 2016&n...

T/ZZB 1373-2019相似标准

GB/T 14601-2009 电子工业用气体.氨 JY/T 013-1996 电子能谱仪方法通则 T/CCGA 30001-2019 超纯氨 GB/T 25188-2010 硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法 GB/T 30702-2014 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南

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T/ZZB 1373-2019 中可能用到的仪器设备

氧氮分析仪（氧氮氢分析仪） 金属多元素分析仪 气相色谱仪GC 纯水器/超纯水器/纯水机/超纯水机 在线氢分析仪 在线气相色谱 在线反应分析系统 工业过程气体分析 氧/CO2分析仪 多组分气体分析仪 氨气分析仪 水质重金属检测/监测仪 多参数水质分析仪 高纯气/特气分析系统 总磷/氮测定 气调保鲜专用仪器 危险气体检测 爆炸品


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