T/ZZB 1373-2019由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2019-11-27,并于 2020-01-03 实施。
T/ZZB 1373-2019在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。
T/ZZB 1373-2019 7N 光电子级超纯氨的最新版本是哪一版?
最新版本是 T/ZZB 1373-2019 。
本标准规定了 7N 光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。 本标准规定的产品氨适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相沉积,也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。 分子式: NH3。 相对分子质量: 17.031(按 2016 年国际相对原子量)。
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