7N 光电子级超纯氨 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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北京化工大学理学院院长聂俊介绍,该校主持承担的“微电子加工用高端超纯化学品”是国家重点研发与产业化项目,自去年启动以来,通过产学研合作,突破了微电子加工用高端电子化学品超纯化处理技术瓶颈,实现微电子加工用高感度光引发剂和弱碱显影树脂的结构设计及超纯化规模制备,并将在国内建成超纯三甲基铝(7N级)、纳米色浆、光阻材料生产线、建立光阻材料的性能评价平台,实现从原材料至最终产品的自主配套。...
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