T/ZZB 1373-2019
7N 光电子级超纯氨

7N photoelectric class hyperpure ammonia


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T/ZZB 1373-2019

标准号
T/ZZB 1373-2019
发布
2019年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/ZZB 1373-2019
 
 
本标准规定了 7N 光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。 本标准规定的产品氨适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相沉积,也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。 分子式: NH3。 相对分子质量: 17.031(按 2016&n...

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