T/CAB 0156-2022
智能家电用金属氧化物MEMS气体传感器
Metal-oxide MEMS gas sensor for smart home appliances
T/CAB 0156-2022 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- T/CAB 0156-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/CAB 0156-2022
- 本文件所述MEMS气体传感器由微纳结构的半导体气敏材料结合MEMS工艺的加热器集成制造而成，在硅片上实现了气体浓度检测功能以达到家电的智能反馈控制。
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