GB/T 42263-2022
硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method

GBT42263-2022, GB42263-2022


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GB/T 42263-2022

标准号
GB/T 42263-2022
别名
GBT42263-2022
GB42263-2022
发布
2022年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 42263-2022
 
 
引用标准
GB/T 14264 GB/T 22461 GB/T 32267
本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。 本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020 cm-3 (0.2%)的硅单晶中氮含量的测定,测定

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